日期：2026-05-21 09:11:14
截至5月20日收盘，光刻机概念上涨3.10%，位居概念板块涨幅第3，板块内，38股上涨，张江高科、晶方科技等涨停，同飞股份、中船特气、沃格光电等涨幅居前，分别上涨12.76%、12.25%、9.94%。跌幅居前的有中瓷电子、华辰装备、泰晶科技等，分别下跌4.40%、3.92%、3.14%。
今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）国家大基金持股4.12Web3.0-2.97中芯国际概念3.46快手概念-2.95光刻机3.10AI视频-2.94存储芯片3.08NFT概念-2.73光刻胶2.33DRG/DIP-2.64PVDF概念2.29小红书概念-2.63先进封装2.03智谱AI-2.57氟化工概念1.66MLOps概念-2.55汽车芯片1.51互联网保险-2.54OLED1.42数据确权-2.52资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入21.13亿元，其中，31股获主力资金净流入，10股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是晶方科技，今日主力资金净流入7.02亿元，净流入资金居前的还有张江高科、大族激光、新莱应材等，主力资金分别净流入7.01亿元、6.09亿元、1.74亿元。
资金流入比率方面，张江高科、晶方科技、美埃科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为31.49%、28.97%、12.33%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）603005晶方科技10.0110.2670205.8228.97600895张江高科10.013.9170050.3531.49002008大族激光5.516.5360854.406.90300260新莱应材2.3412.2517444.687.32301095广立微6.736.7916337.9812.33600619海立股份4.6811.2213016.697.66301421波长光电7.4830.7512815.257.84300990同飞股份12.7617.8012467.969.17300456赛微电子1.488.5411532.874.46688630芯碁微装4.335.4011454.765.63688195腾景科技5.435.979799.363.78300331苏大维格6.4611.329659.776.54688146中船特气12.2517.108288.242.47688502茂莱光学8.764.937223.944.89688167炬光科技2.006.225061.841.91688376美埃科技-2.392.753815.7012.33003043华亚智能4.1312.663294.584.65600353旭光电子2.939.012888.101.62688010福光股份2.086.172203.425.50603800洪田股份2.263.431840.384.40300219鸿利智汇1.715.341558.145.02300786国林科技5.2416.771490.063.04603360百傲化学0.423.821188.021.83300293蓝英装备4.027.211094.132.15301297富乐德0.257.231003.960.74688307中润光学3.755.97953.411.44301568思泰克-0.758.51537.982.16002549凯美特气1.606.83473.940.53002816*ST和科3.094.90432.823.50002889东方嘉盛1.182.30362.084.59688199久日新材1.524.4234.710.16600889*ST京化-0.990.72-13.12-0.33300414中光防雷-1.711.69-183.25-2.62688079美迪凯1.353.87-186.78-0.65603297永新光学4.063.53-235.78-0.41301209联合化学1.071.30-456.65-4.05688605先锋精科3.8210.07-1097.70-1.20301611珂玛科技3.669.75-1318.31-0.75688409富创精密7.203.50-2266.49-1.23600850电科数字-0.049.61-5450.34-3.63301128强瑞技术-0.396.10-7485.44-7.04688127蓝特光学-0.202.27-7616.19-8.42300809华辰装备-3.926.78-7783.58-20.26300666江丰电子-0.127.13-12388.29-3.73688268华特气体3.729.47-15425.83-7.20603773沃格光电9.9415.02-17131.42-6.96003031中瓷电子-4.404.05-28197.35-12.36603738泰晶科技-3.1414.58-40842.31-14.41辉煌优配提示：文章来自网络，不代表本站观点。
